Bu, bazı yanlış anlamaları düzeltmek için diğer cevaplara atıfta bulunan bir "Meta" yanıtı olacaktır.
VLSI üretimi sırasında çeşitli seviyelerde farklı litografi çözünürlükleri kullanılır ve SADECE en modern ve en ince detaylar GATE tanım seviyesinde kullanılır. Poli Silikon tanımından önceki adımlar bile eski litografi araçlarıyla (aktif alan tanımı STI - LOCOS vb.) Yapılır.
Nedeni çok basit, neden daha az çözünürlük gerektiren katmanları tanımlamak için en pahalı maskeleri kullanan en gelişmiş (ve dolayısıyla en pahalı) araçları kullanıyorsunuz?
Aslında, üst Metal elektro-göçü önlemek ve güç raylarının direncini azaltmak için daha fazla akımı desteklemek için çok kalın olma eğilimindedir.
Örneğin, 180 nm'lik bir işlemde geçit, 5X faz değiştirme maskesi ile 248 nm'de KrF lazer bazlı litografi kullanılarak tanımlanır. Bu aynı zamanda kişiler için de kullanılır. Metal 1, i-line @ 365nm ve aynı zamanda 5X maske kullanan bir adımda yapılabilir, ancak faz düzeltmesi uygulanmaz.
Mesele şu ki, çipin üst katmanları, işlemin "tanımlandığı" ifadeden çok daha düşük çözünürlük ve çok daha yüksek adımlardır - ve bu tanım bile çok korkak hale gelir.
Üst metal, yukarıdaki 180 nm işlemde 3um büyüklüğünde minimum özelliklere sahip olabilir, kontrol ettim.
Üst Kalıp pasivasyonu tipik olarak Si3N4 veya poliimiddir. Bu resimlerde kaldırıldı.
Yani en olası şey, bu resimlerin aslında mikroskopta çekilen görünür ışık resimleri olmasıdır. Renkler, yapıların yüksekliğinin ışığın dalga boyu sırasına göre olması ve difraktif etkilere sahip olması olabilir. Ancak ölçeğimiz olmadığından kesin olmak güvenli değildir.
Ancak "güzellik" için renklendirilmiş bir ElectronMicrograph olabilir. Bir kitabın kapağından geliyor ve sanat bölümünün orada ne yaptığını kim biliyor.
Bu yüzden diğerinden birini optik veya SEM olduğunu söylemek istemiyorum. @ W5VO, alan derinliğinin optik için çok büyük göründüğünü gözlemliyor ve katılıyorum. Burada ölçeği bilmiyoruz, bu yapı çağa göre 10 mikron kadar kolay olabilir.
Hiç bir elektron mikrogramı duymadım - "küçük elektron mesajı" na dönüşecek standart adlandırma kuralları uyarınca, bundan bahseden hiçbir şeye bağlantı bulamıyorum. Bunun ne olabileceğini duymak isterim.