Bayer filtresi nasıl üretilir?

Bayer filtreleri hakkında daha önceki bir sorudan sonra, merak ettim:

Aslında nasıl üretiliyorlar? Her bir alt piksele bu kadar az miktarda boya nasıl uygulanır?

En iyi tahminim bir çeşit optik bazlı kimyasal dağlama ve ardından bir boya banyosu olurdu ... (Renk başına)

Bu makalenin özetinden 365 nm litografi için kimyasal olarak yükseltilmiş termal olarak kürlenmiş, önceden boyanmış pozitif tonlu fotorezist kullanan CCD ve CMOS görüntü sensörleri için renk filtresi dizisi

Diazonaftokinon-novolak fotorezist, her bir renk katmanını arka arkaya bırakıp kalıplayarak bu filtreleri üretmek için kullanılır.

Bu alıntıyı anlamış olduğum süreç şu şekildedir:

1. Eklenmiş bir boya (kırmızı, yeşil veya mavi) ile fotorezist (görünürde nispeten şeffaf olan ancak 450nm'de başlayan UV'de kuvvetle emilen bir polimer ve duyarlılaştırma maddesi) sensör yüzeyi üzerinde biriktirilir
2. Fotorezistin üzerine metal desenli bir maske yerleştirilir
3. Fotorezistin maskelenmemiş bölgesi, üzerine diazonaftokinonun dönüştürüldüğü bir UV ışık kaynağı tarafından maruz bırakılır.
4. Maske çıkarıldı
5. Maruz kalan fotorezist, sulu bir çözücü ile çözündürülür, maruz bırakılmamış alan kolayca çözülmez ve bu nedenle
6. 1-5 farklı boyalar ve farklı maskeler kullanılarak tekrarlanır

Bu fotorezistin nasıl çalıştığının açıklaması için en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone adresine bakın .